大気中で物質の表面を観察すると，表面には大気中の気体分子などがついてしまうため，どうしても本来の様子を見ることができません．そこで，ほとんど気体分子がない超高真空中で，物質表面の原子や分子の並び方を調べられるようにしたのが，この『超高真空AFM/SPMシステム』です．
この装置では，原子ひとつひとつを見ることができるので，1mmの1,000万分の1という段差までも見分けることができます．そのため，物質の表面構造などの評価だけではなく，圧電体という電圧で伸縮する材料の特性評価などにも利用しています．